Chemshunplak polisaj wafer aliminyòm/Tab vire a fèt ak aliminyòm ki gen yon pite 99.7-99.9%. Seramik aliminyòm ki gen yon pite segondè prezante yon rijidite eksepsyonèl ak yon ekselan rezistans kont mete pou polisaj waf epi li kenbe yon bon fòm sifas sou yon peryòd tan ki long. Li fòme pa PIBM. Li se yon manm nan endistri semi-kondiktè a akòz estabilite tèmik ak dimansyon san parèy li yo ak rezistans li nan anviwònman ekipman pwosesis mikropous ki difisil.
Planarizasyon Chimik-Mekanik (CMP), ke yo rele tou Polisaj Chimik-Mekanik, se yon teknoloji nan pwosesis fabrikasyon aparèy semi-kondiktè. Li itilize korozyon chimik ak fòs mekanik pou aplati waf silikon oswa lòt materyèl substrat pandan pwosesis la.
Ekipman CMP a divize prensipalman an de pati: pati polisaj la ak pati netwayaj la. Pati polisaj la gen 4 pati, sètadi 3 plato polisaj ak yon modil chaje ak dechaje wafer. Pati netwayaj la responsab pou netwaye ak siye wafer la pou reyalize "seche andedan ak deyò" wafer la. Nan tout ekipman polisaj la, seramik aliminyòm yo jwe yon wòl enpòtan.
Seramik aliminyòm yo anjeneral itilize pou prepare disk polisaj wafer, ki mande pou yon pite ki wo, yon gwo rezistans chimik, ak yon bon kontwòl sou fòm sifas la ak sou aspè britalite a.
Disk seramik Chemshun 99.7% Al2O3 la fèt ak materyèl seramik avanse, ki apwopriye pou fanm byen divès kalite materyèl, espesyalman pou fanm materyèl frajil tankou waf, seramik ak vè. Disk seramik nou an ka fèt nan diferan gwosè selon diferan modèl fanm ak polisaj.
Dat piblikasyon: 30 me 2025